自動激光測距測徑儀利用衍射原理測量細線的直徑，此技術與前兩項剛好相反，只適用於測小直徑的細絲，而且越細越好，因為此技術是利用衍射原理，理論只有當波長與被測物相近或大於被測長物時衍射明顯。據網上查詢，輝煌在這方面處於地位，其產品在測量5um到300um的細絲是沒問題的，根據其廣告宣傳大可以測量到500um。其精度由於限於標準樣件和測試環境的影響，只有0.2um左右，但其重復精度相當高，這是細絲測徑儀的一個發展方向。

1.正確理解精度

　　精度反映的是儀器在標準的測量環境下的測量量程內的綜合精度，它是基於統計學的方法計算出來的，而在實際使用過程中，環境的光照度、測量的手法、目標面的材料等都會對精度有所影響，所以把某一次測量值計算的誤差作為儀器的精度來判斷是不合適的。另外需要強調的一點是精度只適用於單次測量的精度，其它如連續測量、間接測量等模式下並不適用。

　　2.設置基準並自助校準

　　可以自主設置是以儀器前端為基準還是後端為基準，使用前先設置好基準位置，並用自助校準功能進行校準。

　　3.不便直接測量，莫忘勾股測量

　　對於一些無法直接測量的情況，可使用內置的勾股定理進行間接的測量。觀察目標物以構建一個直角三角形，然後根據儀器上的指示分別測量斜邊和直角邊，然後儀器自動計算出被測物體的長度或距離。

　　註意自動激光測距測徑儀的保養和維護

　　屬於精密儀器，避免撞、摔或長時間震動等外力作用損壞儀器。激光測距是通過激光射到目標面後，信號反射回來經過棱鏡接受並進行信號處理才得出測量結果，如果棱鏡表面被灰塵覆蓋或有其它異物，會直接影響測量功能和精度。所以定期清理棱鏡表面及激光孔周圍的灰塵也十分重要，可以用柔軟的布（如眼鏡布）擦拭。